- 수행기간: 2022.02 ~ 2022.11
- 기관명: Samsung Electronics(삼성전자)
- 연구 배경 및 필요성
- 설비의 개별 생산성에 대해 정확히 파악하고 관리하여, 개별 설비 생산성 변동에 따른 FAB 전체 생산성 영향정도를 파악하는 것이 필요
- 개별 설비 생산성 파악을 위해 Lot 투입 조건 변화에 따른 설비 생산성 모델링 필요
- 프로세스 마이닝 기반 시뮬레이션 기법을 활용하여 개별 설비 생산성 파악 및 FAB 전체 생산성 예측 가능
- 연구 목표
- 프로세스 마이닝 기반 반도체 설비 생산성 시뮬레이션 엔진 개발
- 연구 내용
- 반도체 설비에 적합한 프로세스 마이닝 기반 디지털 트윈 생성 방안 개발
- 실제 데이터를 활용한 디지털 트윈 생성 방안 검증
- 기대 효과
- 생성한 디지털 트윈을 활용해 반도체 설비의 생산성을 예측하여 공정 관리자의 의사결정 지원
- 반도체 설비 생산 스케줄 최적화 후, 최적화된 스케줄 검증에 활용 가능